99黄色电影,超级碰在线,亚洲av网站大全,91免费污视频

    1. <pre id="4kve3"><label id="4kve3"><th id="4kve3"></th></label></pre>
      <pre id="4kve3"><label id="4kve3"><th id="4kve3"></th></label></pre>
      1. sale@haoyue-group.com

        139-1789-8272

        133-1166-5350

        當前位置:首頁  >  應用案例  >  碳基復合材料熱工裝備  >  藍寶石晶片有氧/無氧退火解決方案

        聯(lián)系我們

        • 電話:13917898272
        • 郵箱:sale@haoyue-group.com
        • 地址:上海市嘉定區(qū)嘉松北路7301號B2棟
        • 工廠:江蘇省南通市通州區(qū)聚豐科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園1號

        藍寶石晶片有氧/無氧退火解決方案

        發(fā)表時間:2020-09-14      點擊次數(shù):3783

         

         

          通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優(yōu)點:首先,藍寶石襯底的生產(chǎn)技術成熟、器件質(zhì)量較好;其次,藍寶石的穩(wěn)定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最后,藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗。因此,大多數(shù)工藝一般都以藍寶石作為襯底材料。

         

         

          在顯示及電子器件中,藍寶石襯底厚度僅有上百微米,在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中,盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放,但是這種應力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應力會在晶片表面集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在后道加工過程產(chǎn)生破片,影響整個加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。

         

         

          藍寶石襯底晶片加工過程中,研磨作業(yè)后需要進行退火處理,退火前需對襯底進行清洗,將清洗干凈后的襯底放入退火爐中進行高溫退火,以去除加工過程中所殘余的應力,并消除殘余應力所引起的襯底形變。

         

         

          皓越科技針對行業(yè)需求,潛心研發(fā) 有氧和無氧襯底退火爐設備,以滿足客戶加工工藝的要求,創(chuàng)造極致的工業(yè)產(chǎn)品。

         

         

         

        藍寶石晶片無氧退火爐

        藍寶石晶片有氧退火爐

         

         

        特點

        • 去應力:使藍寶石便于加工,切屑。
        • 消除應力集中,避免晶片自動開裂,以及加工中產(chǎn)生裂紋、爆口等。
        • 退火工藝升溫速率不宜過快,直徑越大,保溫時間應越長;降溫時間應大于升溫時間,避免再次產(chǎn)生應力。
        • 去色心:使藍寶石更透明,透光更好。
           

         

        技術參數(shù)

         

         

        1)無氧退火爐

         

         

         

         

        2)有氧退火爐

         

         

         

         

        典型應用

         

         

         

         

        聯(lián)系

        • 電話:13917898272

        • 郵箱:sale@haoyue-group.com

        • 地址:上海市嘉定區(qū)嘉松北路7301號B2棟

        • 工廠:江蘇省南通市通州區(qū)聚豐科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園1號

        留言

        *
        *
        *
        *

        版權所有?2021上海皓越真空設備有限公司       備案號:滬ICP備2022033023號-3